电子无尘车间项目的主要特点： 1、厂房面积大； 2. 可变性；电子光学行业技术创新日新月异，生产工艺不断变化，车间布局随之发生变化。因此，在设计净化车间时，应注意不能有固定的分区，尤其是小的分区。
电子光净化车间设计注意事项
(1)平面由进程决定。电子净化车间的工艺布局应适应电子产品发展的灵活性，满足产品生产工艺改造和扩产的需要；
(2)主体结构宜采用大空间、大跨度的柱网，不宜采用内墙承重体系；
(3)电子行业大型洁净厂房常采用上技术夹层和下技术夹层的“三明治”多层结构；
(4)应考虑大型生产工艺设备的安装和维护要求，设置必要的运输通道和不影响洁净生产环境的安装口或检查口；
(5)电子净化车间按二级耐火等级设计；
(6)特种气体储配室与洁净室(区)之间应采用耐火隔墙隔开，该墙的耐火极限不应低于1H。有毒硅烷或其混合物气瓶贮存区至少三边敞开，气瓶与周围构筑物或围栏的距离应大于3M，贮存区设置的遮阳篷不应低于3.5男；
(7)电子净化车间装修材料不得使用释放对电子产品有影响的物质的材料；
(8)电子光学洁净室车间允许设置风淋室，与一般生物洁净室不同。淋浴间宜与洁净工作更衣间相邻。单人淋浴房按30人一班最大人数设计。当工作人员超过5人时，应设侧门。人多时或为缩短通行时间，也可设置隧道式淋浴房；
(9)对于洁净度等级较高的洁净厂房，为尽量不影响气流的单向性和平行性，照明灯具宜采用洁净的泪珠形灯具；
(10)电子无尘室车间往往需要根据生产工艺的要求设置防静电环境，以抑制静电的产生，快速安全地消除产生的静电；
(11)电子无尘车间车间有抗微振动的特殊要求，厂区环境应避开振动源；
(12)除电子净化车间一般给排水要求外，还有超大型集成电路用水标准；
电子光学洁净车间的环境参数
参 数 | 数 值 | 说 明 |
截面风速/（M/S） | 0.3-0.5 0.2-0.4 | 洁净度1-3级（ISO）洁净室 洁净度4-5级（ISO）洁净室 |
换气次数/（次/H） | 50-60 15-25 10-15 | 洁净度6级（ISO）洁净室 洁净度7级（ISO）洁净室 洁净度8-9级（ISO）洁净室 |
静压差/PA | >5 >10 | 不同等级洁净室之间以及洁净室与非洁净室 之间洁净室与室外之羊 |
温度/。C | 18-22 16-20 按具体工程项目要求24-26 26-28 按具体工程项目要求 | 工艺无要求时的生产环境 人员净化及生活用房 工艺有要求时的生产环境 工艺无要求时的生产环境 人员净化及生活用房 工艺有要求时的生产环境 |
相对湿度/% 冬 夏 | 30-50 按具体工程项目要求 50-70 按具体工程项目要求 | 工艺无要求时的生产环境 工艺有要求时的生产环境 工艺无要求时的生产环境 工艺有要求时的生产环境 |
新风量/[M3/（人.H) | 40 | |
噪声/DB(A) | <65 | 单向流及单向流与非单向流并存的洁净室 |
照度/1X | 300-500 200-300 | 非单向流洁净室主要生产用房(有低照度要求的如光刻、显示器件等除外） 其他用房 |
照度均匀度 | 0.7 | |
静电表面电阻率 | 1*105—1*1010 | 一级标准为1*105—1*107 |
静电体积电阻率 | 1*104-1*109 | |
地面对地的漏泄电阻 | *105-1*108 | |
静电压 | <50(45%相对湿度) | 4级(ISO)以上洁净室 |
振动速度 振动加速度 振幅 相对位移量 | 根据工艺或精密设备、仪器仪表特性确定或参照国标<隔振设计规范> | |
电磁干扰 | 4级(ISO)以上洁净室,当洁净室靠近高压输配电设施时尤为重要 |
