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电子厂无尘车间相关设计要求

来源:昊锐整理编辑 | 时间:2023-03-10 | 浏览:0

  电子无尘车间工程的设计,以芯片生产车间、集成电路无尘车间和磁盘制造车间为代表的电子工业工程净化车间,除了对微粒有严格控制外,还对温湿度、照度、微震等要求更加严格,并且要去除静电对生产产品的影响。

  根据现行规范,电子厂万级无尘车间工程内的噪声级:不应大于65dB(A)

  1.电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%。

  2.电子制造厂无尘车间工程与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。

  3.电子制造行业万级无尘车间内的新鲜空气量应取下列二项中的值。

  4.补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

  5.保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m³。


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