本手册适用于10万级无尘车间的日常运维管理,涵盖高效空气过滤器(HEPA)更换、清洁标准操作程序(SOP)及维护计划,以确保洁净环境符合ISO 14644-1标准。
10万级无尘车间要求:
悬浮粒子数:≥0.5μm粒子≤3,520,000个/m³
换气次数:15-25次/小时
温湿度控制:温度20-26℃,湿度45-65%
过滤器类型 | 更换周期 | 更换标准 |
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初效过滤器(G4) | 3个月 | 压差≥150Pa或目视污染 |
中效过滤器(F8) | 6个月 | 压差≥250Pa或效率下降 |
HEPA过滤器(H13) | 1-2年 | 压差≥450Pa或DOP检测泄漏率>0.03% |
停机准备:关闭空调系统,佩戴洁净服、手套、口罩。
拆除旧过滤器:记录压差数据,小心拆卸避免扬尘。
安装新过滤器:检查密封胶条,确保无泄漏。
检测验证:进行DOP/PAO检漏测试,确认效率达标。
区域 | 清洁频率 | 清洁剂 |
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地面、墙面 | 每日 | 无菌IPA或去离子水 |
设备表面 | 每班次 | 无尘擦拭布+75%酒精 |
天花板、风管 | 每月 | 专用吸尘器+HEPA过滤 |
使用无脱落纤维抹布、防静电拖把。
禁止使用含硅类清洁剂。
检查初效/中效过滤器压差。
清洁回风栅、FFU表面。
验证压差梯度(≥5Pa)。
全面更换HEPA过滤器(视检测结果)。
空调系统风量平衡测试。
第三方洁净度检测(ISO 14644认证)。
建立《过滤器更换台账》《清洁点检表》。
保存DOP检测报告至少3年。
ISO 14644-1 洁净室标准
HEPA检漏测试方法(DOP/PAO扫描)
编制:XXX公司技术部
版本:V1.0
生效日期:XXXX年XX月XX日
注:本手册需定期评审更新,以适应法规及生产需求变化。