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无尘车间设计基础与原则

技术分享 2025-07-08 昊锐净化机电 0

无尘车间(Cleanroom)是一种通过控制空气中的微粒、温湿度、压力、气流等参数,以满足特定生产工艺或实验需求的环境。其设计需要遵循严格的标准和科学原则,以确保环境参数符合行业要求。


一、无尘车间设计的基本原则

  1. 污染控制原则

    • 源头控制:减少污染物产生(如人员、设备、材料带入的微粒)。

    • 过程控制:通过气流组织、压差管理、过滤系统等防止污染物扩散。

    • 末端控制:采用高效过滤器(HEPA/ULPA)去除空气中的微粒。

  2. 气流组织原则

    • 单向流(层流):气流以均匀速度平行流动(适用于高洁净度区域,如ISO 5级)。

    • 非单向流(乱流):气流呈不规则流动(适用于较低洁净度区域,如ISO 7-8级)。

  3. 压差控制原则

    • 正压控制:洁净度高的区域压力应高于相邻低洁净区(防止外部污染进入)。

    • 负压控制:用于生物安全实验室或有毒物质操作区(防止内部污染外泄)。

  4. 材料与表面处理原则

    • 光滑、不产尘:墙面、地面、天花板应采用无缝隙、易清洁的材料(如彩钢板、环氧自流坪)。

    • 防静电:电子行业需采用防静电地板、墙面材料。

  5. 人机物净化原则

    • 人员净化:设置风淋室、更衣间、洗手消毒设施。

    • 物料净化:采用传递窗、物料气闸室。

    • 设备净化:设备进车间前需清洁,避免带入微粒。


二、洁净等级标准

洁净室等级通常按照国际标准(如 ISO 14644-1 或美国 FS 209E)划分,主要依据单位体积空气中的微粒数量。

ISO 等级FS 209E 等效≥0.5μm 粒子最大允许数量(每立方米)典型应用
ISO 1-≤10半导体光刻
ISO 3Class 1≤1,000芯片制造
ISO 5Class 100≤100,000制药无菌灌装
ISO 7Class 10,000≤10,000,000医疗器械生产
ISO 8Class 100,000≤100,000,000食品包装

不同行业对洁净度的典型要求:

  • 电子行业(半导体、芯片):ISO 1-5(Class 1-100)

  • 制药行业(无菌生产):ISO 5-7(Class 100-10,000)

  • 医疗器械:ISO 7-8(Class 10,000-100,000)

  • 食品行业:ISO 8(Class 100,000)


三、气流组织设计

1. 单向流(层流)设计

  • 特点:气流以均匀速度(通常 0.3~0.5 m/s)单向流动,快速带走污染物。

  • 应用:高洁净度区域(ISO 1-5级),如手术室、芯片制造、无菌灌装区。

  • 实现方式

    • 垂直层流:FFU(风机过滤单元)安装在顶部,回风在地面。

    • 水平层流:送风墙+对面回风墙(适用于狭长空间)。

2. 非单向流(乱流)设计

  • 特点:气流呈不规则流动,靠稀释作用降低污染浓度。

  • 应用:较低洁净度区域(ISO 6-8级),如包装区、更衣室。

  • 实现方式

    • 顶送侧回:高效过滤器送风,侧墙回风。

    • 扩散送风:通过散流器均匀送风。

3. 混合流设计

  • 特点:结合单向流和乱流,核心区域用层流,周边用乱流。

  • 应用:部分制药车间、电子组装区。


四、不同行业的无尘车间设计要点

1. 电子行业(半导体、芯片制造)

  • 洁净度要求:ISO 1-5(Class 1-100)

  • 关键设计

    • 超高效过滤(ULPA):过滤 0.1μm 微粒。

    • 防静电(ESD):防静电地板、离子风机。

    • AMC(气态分子污染物)控制:化学过滤器去除酸性/碱性气体。

    • 微振动控制:设备需防震基础。

2. 制药行业(无菌生产)

  • 洁净度要求:ISO 5-7(Class 100-10,000)

  • 关键设计

    • GMP 合规:符合 FDA/EMA 规范。

    • 无菌屏障:RABS(限制进出屏障系统)或隔离器。

    • 消毒方式:VHP(汽化过氧化氢)灭菌。

    • 单向流保护:关键操作区(如灌装线)必须用层流罩。

3. 医疗器械行业

  • 洁净度要求:ISO 7-8(Class 10,000-100,000)

  • 关键设计

    • 易清洁表面:无死角、圆弧角设计。

    • 生物安全:部分区域需负压控制(如病毒检测实验室)。

4. 食品行业

  • 洁净度要求:ISO 8(Class 100,000)

  • 关键设计

    • 防霉抗菌:墙面、地面用抗菌涂层。

    • 温湿度控制:防止微生物滋生。


五、总结

设计要素关键原则
洁净等级根据行业选择(电子最高,食品较低)
气流组织高洁净度用单向流,低洁净度用乱流
压差控制洁净区>缓冲区>非洁净区(正压);生物安全区用负压
材料选择不产尘、易清洁、防静电(电子)、抗菌(食品)
人机物净化风淋室、传递窗、设备清洁程序

设计核心目标:在满足生产工艺需求的同时,确保洁净室长期稳定运行,符合行业法规(GMP、ISO、FDA等)。

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