电子工业净化厂房空气净化工程解决方案主要应用领域:
在精密的生产制造过程中不可缺少空气洁净,随着电子工业制造技术的迅猛发展,例如硅片、纳米级芯片等先进制造厂对生产环境的洁净度要求越来越高,因此,包括集成电路IC半导体、光电、太阳能电池、半导体照明等电子工业洁净室、电子净化车间、电子无尘厂房对环境中的洁净度和分子级空气污染物(AMC)提出了更加严格的标准。
昊锐净化机电为电子工业净化厂房及其内部区域提供完善的超洁净解决方案,以下内容包含了空气过滤器(初中高)、自带风机过滤机组(FFU)、超薄设备端自带风机过滤机组(EFU)以及可选的化学过滤器段,有效的控制了AMC浓度。
电子工业净化厂房空气净化工程解决方案:
工业洁净车间内空调系统的初级过滤,主要用于过滤 5μm 以上尘埃粒子。初效过滤器有板式、折叠式、袋式三种样式,外框材料有纸框、铝框、镀锌铁框,过滤材料有无纺布、尼龙网、活性碳滤材、金属孔网等,防护网有双面喷塑铁丝网和双面镀锌铁丝网。
2. 中效过滤器
F系列过滤器分袋式和非袋式两种,其中袋式包括F5,F6,F7,F8,F9,非袋式包括FB(板式中效过滤器),FS(隔板式中效过滤器),FV(组合式中效过滤器)。
3. 高效过滤器
工业洁净车间内空调系统的初级过滤,主要用于过滤0.5μm 以上尘埃粒子及各种悬浮物,是过滤系统中的末端过滤。
4. 高效送风口
千级、万级、十万级电子工业净化车间空调系统的终端过滤装置,高效送风口是用作改造和新建1000-300000级各级洁净室的终端过滤装置,是满足净化要求的关键设备。
高效送风口有Ⅰ、Ⅱ两种系列。系列Ⅰ为可更换过滤器形式,系列Ⅱ为一次性风口形式,均为下送风。
高效送风口系列Ⅰ:本风口由高效过滤器、优质薄钢板、铝合金扩散孔板等组成,安装方便,密封可靠,可方便地更换过滤器。接管方式可采用上接或侧接。
高效送风口系列Ⅱ:分超薄型、薄型两种。均为一次型风口,更换方便(仅需卸下送风管和风口之间的软接头的管箍即可)。该系列特别适用于吊顶空间受限制的净化空调系统。主要优点:箱体结构简单可靠,通风性强,送风均匀,安装方便,维护简单。
5. 自带风机过滤机组
RadiFan AC FFU是一种适用于乱流及层流洁净室的自带风机过滤机组。它具有高度灵活性,适用于各种天花龙骨和吊顶系统中。根据设计要求的不同,它可方便地升级和集成到任何一种龙骨结构中,以达到不同洁净度的洁净要求。
专业设计的箱体外壳,结构稳定强度高,避免泄漏,消除大量FFU同时运转时的共振。采用不锈钢材质的箱体,可使用消毒剂,非常适用于消毒设备。可选用镀铝锌钢板或铝箱体。可外加初效过滤器。 采用高压一体化风机并采用低阻Radicel II过滤器,在机外静压50-150PA的条件下,仍可保证额定流量的输出。 进风口初效过滤器、出风面散流板、压差计、压力在线监控、Particle在线监控、DOP测试孔、进风口接管、指示灯、风速、温湿度在线监控、遥控器控制、欧标接插头等多种选配件。
6. 超薄设备端自带风机过滤机组
EFU即 Equipment Fan filter Unit,是一种超薄型设备端自带风机过滤机组,广泛应用在洁净室中,以提高局部微环境的洁净度。可严格控制空气中的悬浮颗粒物、化学及分子级污染物。
适应空间更广,箱体最低可至110mm
重量轻薄,安装维护方便;
多种材质可供客户选择(SPCC、SUS、AL、ZN-AL)
高效、低能耗直流无刷电机(国产、EBM应对客户不同要求)
高效、低噪叶轮,动平衡等级G2.5
严格的检测流程,保证每台出货产品100%合格
定制性:根据客户需求制作外形尺寸
灵活性:拆装维护均可从STOCKER及EQ内部完成
稳定性:运转100000H 电机轴承无异常
智能性:随意兼容客户系统。全天实时监控
防呆性:配备特有电源、通讯端子接口,避免接线异常
单机控制:无通讯时亦可操作
控制显示:控制器可显示基本信息(转速、故障、地址)
系统连接:可无缝接入客户控制系统,实现对EFU的实时“监控”。
历史查询:设置EFU状态LIST,可随意查询任意时间段内的
操作及状态记录。
可做成行业标准Modbus RTU
精选极低挥发性原材料,满足洁净度要求极高的EFU安装工艺段
如对气态分子污染物控制有要求,可选配PTFE过滤器或者化学过滤器
7. 化学过滤器
主要用于处理空气中恶臭,有毒有害及腐蚀性气体的新型的空气净化设备。
化学模块、圆筒式和可更换板式空气过滤器
l 化学模块、圆筒式和可更换板式空气过滤器的配套使用提供了更全面的压降范围和祛除效率
l 过滤系统内部高品质的密封设计防止了泄漏
l 在普通的暖通系统中,丰富的产品类型可替代原系统中的各种板式过滤器
l 为升级改造提高了技术
l 专利的过滤技术延长了化学过滤器的更换周期
化学滤料和催化剂
l 化学滤料和催化剂为有效的祛除空气中的分子级污染物(AMC)提供了高效过滤
l 应用广泛,可用于过滤不同的目标气体
l 能精确的分析出剩余使用寿命
l 使用后易于处理
l 采用无污染环境技术
l 化学滤料极大的满足了高容量的工业应用且也适合如纳米技术,手术室需临界状态下的应用和其他与生活息息相关的应用
前入式框架FAH
l 融合了先进密封技术的前入式框架更容易更新
l 前入式框架
l 能在现有的AHU系统内部更新
l 坚固的框架结构
l 为可安装板式和嵌入式模块提供空间
l 提供内置的空气过滤器部分
自净化循环RU和正压过滤系统PRU
l 适用于室内使用或经特殊保护后安装在室外
l 安装时无需专门的管道或装置
l 先进的结构和特点,易于与室内构造融合协调
l 结合AAF隔音防振技术
l 一体化的流量变化,性能和智能控制操作具有良好的节能效果
侧入式过滤系统SAH
l 易于融入HVAC系统现行的管道设计
l 可利用额定的尺寸来配合单个的管道设计和过滤需求
l 采用高效空气过滤技术
l 在一个统一的整体中提供尽可能灵活的多段过滤。
深床过滤系统DBS
l 深床系统适用于充满大量颗粒污染物和分子级污染物等最具挑战性的地方,该系统是重负荷机器且具有更大的滤料容积
l 可用做深床吸附器
l 可用做深床洗涤器
祛除空气中颗粒污染物和有害气体