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半导体洁净厂房通常采用外置空调箱+风机过滤机组+干冷盘管的HVAC系统。也就是说,室外空调箱MAU向回风输送洁净度、温度和湿度恒定的新风。洁净室通道,与循环回风混合后,进入洁净室顶棚顶部,通过风机过滤单元FFU,然后进入洁净室生产区,基本满足洁净室温度要求,湿度、清洁度、正压温湿度处理工艺任何简单地加热或冷却空气(未达到饱和)的过程都是水量保持恒定的过程,即绝对湿度保持恒定。潮湿的空气被盘管加热,