百级无尘车间净化工程解决方案 无尘车间设计与施工解决方案

百级无尘车间（ISO 5级/Class 100）是半导体、生物医药、精密光学等超高标准行业的必备环境，要求每立方米空气中≥0.5μm的颗粒数≤3,520个（动态标准）。以下是针对百级洁净室的全面解决方案：

一、核心设计标准

1. 洁净度控制

• 颗粒限值：≥0.5μm颗粒≤100颗/立方英尺（静态）

• 微生物要求：浮游菌≤5CFU/m³（制药行业需符合GMP A级）

2. 气流与压差

• 单向流（层流）：垂直或水平层流，风速0.45±0.1m/s（ISO 5级）

• 换气次数：300-600次/小时（远高于十万级）

• 压差梯度：相邻区域压差≥10-15Pa（防止交叉污染）

二、关键系统设计

1. 空气处理系统

• FFU（风机过滤单元）阵列：顶部满布HEPA（H14）或ULPA（U15）过滤器，覆盖率≥80%

• 循环风机组：MAU（新风机组）+DC（干盘管）组合，维持温湿度恒定

• 气流组织：垂直层流（天花板FFU→高架地板回风）或开放式层流工作站

2. 高效过滤配置

• 三级过滤：初效（G4）→中效（F9）→高效（H14/ULPA）

• 终端过滤：HEPA/ULPA需通过PAO/DOP检漏测试（效率≥99.999%@0.12μm）

3. 材料与结构

• 围护结构：电解钢板/不锈钢墙面（无接缝焊接），防静电环氧自流平地面

• 门窗设计：气密平移门、圆弧角处理（防积尘）

三、行业特殊需求

• 半导体行业：AMC（气态分子污染物）控制、防振动地板

• 生物制药：隔离器/RABS（限制进出屏障系统）、在线粒子监测（符合FDA 21 CFR Part 11）

• 医疗器械：灭菌隧道、生物安全柜集成

四、动态控制与监测

1. 实时监测系统

• 激光粒子计数器（0.1μm-5μm多通道监测）

• 温湿度/压差数据自动记录（符合GMP数据完整性要求）

2. 自净能力验证

• 从ISO 8级恢复到ISO 5级时间≤15分钟（空态测试）

五、施工与验证流程

1. 施工要点

• 洁净室先行原则：先完成彩钢板封闭再进行设备安装

• 风管焊接工艺：氩弧焊（防氧化），内壁酒精擦拭

2. 验收标准

• 静态测试：ISO 14644-1 Class 5

• 动态测试：模拟生产状态（人员/设备运行）

• GMP认证：需额外进行烟雾流型测试、风速均匀性检测

六、成本优化策略

• 局部百级：仅核心工艺区采用层流罩/洁净工作台

• 节能设计：变频FFU、VAV（变风量）控制系统

• 模块化安装：预制洁净室模块缩短工期30%

七、常见问题解决方案

• 颗粒反复超标：检查FFU电机故障或过滤器密封条老化

• 风速不均：调整FFU转速或增加导流板

• 静电积聚：增设离子风机，湿度控制50±5%

百级无尘车间需通过“设计-施工-验证-运维”全生命周期管理，建议结合ESD防护、AMC控制等高级需求进行定制化设计。对于关键行业（如芯片光刻区），需达到ISO 4级（十级）甚至更高标准。