电子制造工厂净化工程厂房的纯水的制备、储存和输送设备的选型和制造材质的选择，除了应充分满足电子产品生产工艺对供水水质、终端水质的要求外，纯水的制备、储存和输送设备的选择和材质选择，还应该充分考虑以下因素：
1. 纯水是一种极好的溶剂，为了确保在纯水的制备、储存和输送过程中纯水水质下降小，必须选择化学稳定性极好的材料，这些材料在所处的纯水中的溶出物小。各类材料的溶出物多少应以材料的溶出试验确定，主要包含金属离子、有机物的溶出。
2. 电子洁净车间设计施工中的设备内壁光洁度好，若内壁有微小的凹凸，会造成微粒的沉积和微生物的繁殖，导致微粒和细菌两项指标的不合格。不锈钢内壁光洁度可达几微米至几十微米，内衬PVDF的内壁光洁度可达1μm以下。
3. 设备内壁以下接管处应平整，光滑，以防止产生流水的涡流区，避免污染物积聚。
4. 设备区不应有“死水区”、“存水弯”等可能形成不流动水的“死角”、“盲点”等，防止水质降低，避免微生物的滋生。
5. 纯水的储罐等设备的上部空间，为防止发生渗气现象等，应充以纯氮保护。
6. 应设有检查口、清洗口，以便对设备进行定期检查、清洗，防止长期运行后，内壁产生沉积物及微生物积聚使水质下降。
电子制造工厂净化工程厂房的纯水系统设计和运行经验表明，采用纯水循环供水方式是确保纯水水质的安全、方便和可靠的方法，也是目前各类电子车间无尘室厂房纯水系统的设计设置状况。
