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电子制造工厂净化工程的给水规定

来源:昊锐整理编辑 | 时间:2023-03-10 | 浏览:0

电子生产无尘车间厂房内的生产工艺一般为精细或超精细加工,对水质、水温、水压等的要求都较为严格,水质、水温、水压等的变化可能会导致次品或工艺设备故障,因此,应根据不同的工艺要求设置独立给水系统。

电子工业半导体、液晶显示器等电子产品生产工艺中往往会使用大量的危险化学品,为此,在洁净厂房设有危险化学品储存和分配系统,考虑到操作和维护人员的安全,应该在这些地方设置紧急淋浴器和洗眼器。环形设置紧急淋浴器和洗眼器的供水管路,是为了提高供水的可靠性,确保在任何时刻都有水供应。那么,该如何确保电子产品生产工艺用水的水质、水压、水温呢?

1. 给水系统管材选用。首先,要保证该管材不会使用所输送的水发生水质变化,即要求该管材具有良好的耐腐蚀性和良好的抗溶出性。其次,要确保该管材的允许工作压力大于系统的工作压力。

 

2. 由于半导体制造、液晶显示器生产等电子厂房净化往往有较严格的微振控制要求,所以这类厂房的首层底板经常加厚,有时达到600-800㎜。埋设这些底板下的给水管道,维修和更换是较为困难的,因此,埋地给水管一方面要按水的性质确定管内壁的耐腐蚀性,另一方面要按地下水及土壤的条件确定管外壁的耐腐蚀性。需要注意的是,镀锌层是防锈层而不是防腐层,所以埋地镀锌管必须要做防腐处理。在进行洁净室的给水排水设计时,应尽量避免埋地管道。

3. 电子无尘洁净室设备的冷却水,一般对电导率、TOC、PH值等提出要求,为确保生产设备循环冷却水的水质,给水管和回水管采用不锈钢管,钢塑管和塑料管是合适的;焊接钢管由于其耐腐蚀性差,容易产生锈蚀,故不宜使用在对电导率、TOC、PH值等有要求的场合。

4.阀门及配件要求与管材一致,主要是为了保证供水水质。

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